廣泛的源范圍與低電平精密測(cè)量功能相結(jié)合

• 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達(dá) 1500 A 和 10 kV
• 中等電流測(cè)量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
• μΩ 導(dǎo)通測(cè)量功能
• 高電壓偏置時(shí)，可進(jìn)行**的 sub-pA 電平電流測(cè)量

廣泛的器件測(cè)量功能

• 可在高達(dá) +/- 3 kV 直流偏置時(shí)執(zhí)行電容測(cè)量
• 10μs 高功率脈沖測(cè)量
• 溫度測(cè)量功能
• 高電壓/強(qiáng)電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應(yīng)表征

改進(jìn)的測(cè)量效率

• 在高電壓和強(qiáng)電流測(cè)量之間自動(dòng)切換，無需重新布線
• 具有**互鎖機(jī)制的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試夾具，可進(jìn)行封裝功率器件測(cè)試
• 已經(jīng)過測(cè)試并支持高功率 200 A 晶圓上測(cè)試
• MS Windows EasyEXPERT 軟件簡(jiǎn)化了數(shù)據(jù)管理和數(shù)據(jù)分析流程

可升級(jí)和可擴(kuò)展的硬件體系結(jié)構(gòu)

• 10 模塊插槽
• 支持具有高達(dá) 6 個(gè)連接引腳的高功率器件

• B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強(qiáng)電流 SMU（HCSMU）、超強(qiáng)電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測(cè)量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機(jī)支持您對(duì)其進(jìn)行配置，以滿足您的測(cè)量需求。

  B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ)，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測(cè)器件特征和探測(cè)器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對(duì)參數(shù)（例如擊穿電壓）進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應(yīng)用于器件的電壓和電流。測(cè)量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)可自動(dòng)存儲(chǔ)到 B1505A 的內(nèi)置硬盤，并復(fù)制到 USB 閃存和其他便攜存儲(chǔ)器件。將器件測(cè)量結(jié)果匯總之后，測(cè)量數(shù)據(jù)可輕松復(fù)制到工程報(bào)告中。

  強(qiáng)大的測(cè)試夾具解決方案對(duì)于確保操作人員**（由于生成的高電壓和強(qiáng)電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對(duì)某些功率器件進(jìn)行測(cè)試，而且有時(shí)為了測(cè)試某一器件必須臨時(shí)裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測(cè)試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測(cè)試夾具適配器和定制的測(cè)試夾具模塊來實(shí)現(xiàn)。此外，測(cè)試夾具的內(nèi)置互鎖機(jī)制可確保在測(cè)試器件過程中**地應(yīng)用高電壓和強(qiáng)電流。

  安捷倫可提供一個(gè)轉(zhuǎn)換套件，使現(xiàn)有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機(jī)轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機(jī)。這使當(dāng)前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴(kuò)展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測(cè)量功能。

  模塊選型指南

  測(cè)量資源	所需模塊/擴(kuò)展器	所需插槽數(shù)	主要技術(shù)指標(biāo)
  高功率 SMU（HPSMU）	B1510A HPSMU	2	高達(dá) 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率
  中等功率 SMU（MPSMU）	B1511A MPSMU	1	高達(dá) 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率
  強(qiáng)電流 SMU（HCSMU）	B1512A HCSMU	2	20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1
  高電壓 SMU（HVSMU）	B1513B HVSMU	2	1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流）
  中等電流 SMU（MCSMU）	B1514A MCSMU	1	1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流）
  多頻電容測(cè)量單元（MFCMU）	B1520A MFCMU	1	1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高電壓偏置 T 型接頭
  高電壓中等電流單元（HVMCU）	M1266A HVSMU 電流擴(kuò)展器、 B1513B HVSMU 和兩個(gè) B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	4 - 6	±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖）
  超強(qiáng)電流單元（UHCU）	N1265A 超強(qiáng)電流擴(kuò)展器/夾具 和兩個(gè) B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	2 - 4	1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率
  超高電壓?jiǎn)卧║HVU）	N1268A 超高電壓擴(kuò)展器 和兩個(gè) B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 組合	2 - 3	10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖）

  *1. 使用兩個(gè) HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器，當(dāng)前的范圍可擴(kuò)展至 40 A/20 V（脈沖）和 2 A/40 V（直流）。

  Microsoft 和 Windows 是微軟公司在美國(guó)的注冊(cè)商標(biāo)。